真空室。

涂布設(shè)備主要包括連續(xù)涂布生產(chǎn)線和單室涂布機(jī)兩種形式。表面進(jìn)行不銹鋼材料制造、氬弧焊和化學(xué)拋光處理。各種規(guī)格的法蘭接口焊接在真空室組件上。

2.真空獲得部分。

在真空技術(shù)中，真空獲得部分是一個重要的部分。真空不是一個真空設(shè)備和方法可以達(dá)到的，必須同時使用幾個泵，如機(jī)械泵、羅茨泵和分子泵系統(tǒng)。

3.真空測量部分。

真空系統(tǒng)的真空測量部分是測量真空室中的壓力。像真空泵一樣，沒有真空計可以測量整個真空范圍，所以人們根據(jù)不同的原理和要求制作了多種真空計。如熱電偶表、電離表、皮拉尼表等。

4.電源部分。

目標(biāo)電源主要包括DC電源、中頻電源、脈沖電源和射頻電源。常見的電源廠商有AE、ADL、Hottinger等。

5.工藝氣體輸入系統(tǒng)。

工藝氣體，如氬(氬)、氪(氪)、氮(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫(H2)、氧(O2)等。通常由氣瓶供應(yīng)，穿過氣體減壓閥、氣體截止閥、管道、氣體流量計、電磁閥和壓電閥，然后進(jìn)入真空室。這種輸氣系統(tǒng)的優(yōu)點是管道簡單明了，容易維修或更換氣瓶。涂布機(jī)互不影響。也有多臺涂布機(jī)共用一套氣瓶的情況，在一些大型涂布車間可能會看到。其優(yōu)點是可以減少氣瓶的消耗，統(tǒng)一規(guī)劃布局。缺點是接頭數(shù)量增加了漏氣的幾率。而且涂布機(jī)之間會相互干擾，一臺涂布機(jī)的管道會發(fā)生泄漏，可能會影響其他涂布機(jī)的產(chǎn)品質(zhì)量。此外，更換氣瓶時，必須確保所有機(jī)器都處于非使用狀態(tài)。