單銀/雙銀Low-E鍍膜生產(chǎn)線

1、Low-E鍍膜生產(chǎn)工藝及其原理

  1.1概述

    鍍膜玻璃的生產(chǎn)方法很多，主要有真空磁控濺射法、真空蒸發(fā)法、化學(xué)氣相沉積法以及溶膠-凝膠法等。

而其中目前國內(nèi)外Low-E玻璃生產(chǎn)應(yīng)用廣泛的方式是真空磁控濺射法，特別是建筑Low-E玻璃。磁控濺射鍍膜玻璃利用磁控濺射技術(shù)，可以設(shè)計制造多層復(fù)雜膜系，可在透明的玻璃基片上鍍出多種顏色，膜層的耐腐蝕和耐磨性能較好。磁控濺射法是濺射速率高，性能比較穩(wěn)定的鍍膜方法。

1.2真空磁控濺射的基本原理

真空磁控濺射法是將玻璃置于真空室內(nèi)，并通入工作氣體（氬氣、氮氣和氧氣等），當(dāng)在濺射陰極、陽極間通電時，由于高壓電場的作用使氣體（氬氣）分子電離，帶正電的氬粒子將在電場的加速下，向陰極靶材表面撞擊，將靶材表面的金屬離子擊出，以逐漸沉積在玻璃表面形成薄膜。

在濺射過程中，大部分能量轉(zhuǎn)變成熱量，因此需要對真空濺射室進行水冷卻。

濺射工藝可以在大面積的基片上進行均勻鍍膜。

 2、Low-E鍍膜生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)和工藝流程

本Low-E鍍膜整線由以下部分構(gòu)成：

手動裝片臺 ---自動上片臺 ----過渡臺（一） ---- 前清洗機 ----原片觀察臺----橫向定位臺----進片臺----進片室Z1----進口精抽室Z2----- 進口過渡室Z3 ---- 濺射室Z4-1、2、3、4、5、6、7、8等（濺射室的多少視工藝而定）-----出口過渡室Z5---- 出口精抽室Z6---- 出片室C7----出片臺 ----過渡臺(二)---- 光譜儀過渡臺----檢驗室-----噴粉機---- 過渡臺（三）--- 自動下片臺----手動卸片臺

本設(shè)備采用七室6鎖結(jié)構(gòu)：七室結(jié)構(gòu)優(yōu)于五室結(jié)構(gòu)，避免了玻璃傳入濺射區(qū)域時附帶雜質(zhì)氣體對濺射區(qū)域穩(wěn)態(tài)的沖擊和污染，成膜純凈度高，膜結(jié)構(gòu)牢固，抗腐蝕及紫外照射性強，理化性能好。在陰極選用上，使用平面陰極和直流電源，采用旋轉(zhuǎn)陰極和中頻電源，會使鍍膜工藝更穩(wěn)定，膜層更致密。

圖1-1，圖1-2， Low-E鍍膜生產(chǎn)線

3、Low-E鍍膜生產(chǎn)線的性能及其參數(shù)

     正因為看到國內(nèi)外還存在一些差距，認識到國內(nèi)廠家過去的一些不足，鴻利達公司迎難而上，通過引進人才和聘請大學(xué)教授，與科研機構(gòu)合作，積極研發(fā)、改進?，F(xiàn)在我們研發(fā)制造的Low-E鍍膜設(shè)備技術(shù)水平躍上一個新臺階，達到國內(nèi)先進水平。具體性能和參數(shù)如下表所示：

圖2-1 手動上、下片臺

3.3過渡臺（一）

3.4、前清洗機

由于Low-E鍍膜玻璃在鍍膜前要求基片表面嚴格潔凈、干燥，因此在玻璃基片進行鍍膜前必須清洗。為此專門配置前清洗機用來清洗鍍膜玻璃基片。清洗機采用仿本特勒清洗機，清洗、風(fēng)干一次完成。配多道毛刷盤和風(fēng)刀，先清洗，后風(fēng)刀吹干。清洗毛刷盤可以根據(jù)清洗效果上下調(diào)整，以保證清潔干凈。風(fēng)刀角度也可以調(diào)整，以達到好的吹干角度。吹風(fēng)必須干凈、無塵、無油，為此配一套風(fēng)機和過濾系統(tǒng)，風(fēng)機風(fēng)量要求足夠大，過濾網(wǎng)根據(jù)過濾效果安裝多道，并且日常維護要求達一定期限就要求跟換過濾棉，保證吹風(fēng)無污染。

3.5、電源

本鍍膜線采用進口電源，穩(wěn)定性好，控制準(zhǔn)確、可靠，并具有保護功能。

圖5-1真空控制柜                                    圖5-2低真空控制柜

控制電路系統(tǒng)大約上千個以上的數(shù)字輸入和數(shù)字輸出，100個以上模擬輸入及100個模擬輸出通過工業(yè)控制機由PLC控制，輸入輸出模塊安裝于控制室及其它開關(guān)柜里, 計算機，PLC及相應(yīng)測量儀器控制系統(tǒng)安裝于主控房控制里，液晶顯示器，鍵盤及鼠標(biāo)放置于控制房操作臺上。

圖5-3 控制室操作系統(tǒng)布局

傳動控制：控制準(zhǔn)確、可靠，根據(jù)具體情況而快、慢速控制，生產(chǎn)效率高。

3.6、在線光學(xué)檢測系統(tǒng)  （1套）

 在線光學(xué)測量系統(tǒng)是檢測鍍膜玻璃成品的設(shè)備，該檢測系統(tǒng)使得產(chǎn)品真正做到光譜性能100%經(jīng)過檢驗，它可以通過電腦對每一片玻璃的縱向及記錄和保存測量數(shù)據(jù)、測量時間、類型、批次，定時打印存檔，是產(chǎn)品質(zhì)量追溯和出具質(zhì)量合格證依據(jù)之一。對于生產(chǎn)低輻射玻璃，該系統(tǒng)還能在線非接觸性準(zhǔn)確測量產(chǎn)品的面阻值。

具體如下圖所示

圖6-1在線光學(xué)檢測系統(tǒng)

3.7、在線噴粉機

3.8、自動下片臺

3.9、人工下片臺