★該臥式磁控鍍膜生產線可鍍的工藝膜系有：金膜、銀膜、鋁膜、鈦金膜、不銹鋼膜等單質膜和氧化膜、復合膜、增透膜、增亮膜、光學膜、ITO導電膜、EMI屏蔽膜等等。設備能生產的產品有銀鏡、鋁鏡、彩色玻璃、工藝玻璃、光伏玻璃、光電玻璃、ITO導電玻璃、非導玻璃等，以及PC、PVC、PET等材料表面鍍AR、AF、ITO、非導等膜和金屬單質膜等工藝。設備主要應用在手機鏡片和手機后蓋鍍膜、電子、電器、軍工、家電、五金、玩具、汽車、建筑、建材、燈飾、裝飾等眾多行業(yè)領域。本設備的優(yōu)點：抽速快及穩(wěn)定、產量高、特殊的傳動結構運行平穩(wěn)不卡頓（吸收進口設備精華）。高真空部分可根據客戶實際需要全選擇油擴散泵或分子泵，或兩者搭配使用；設計有防返油機構，減少對產品的污染；使用國內或國外知名品牌真空泵機組，加上人性化結構設計理念和智能控制及顯示系統(tǒng)，使設備盡善盡美。

★工藝氣體：氬氣、氧氣、氮氣等，具體看生產的產品而定。

★靶材材質：金、銀、銅、鋁、鈦、鋯、硅、鎳、鉻、錫、銦、鈮、不銹鋼等或錫銦、硅鋁、鎳鉻等合金。

★磁控濺射電源：直流電源、中頻電源、射頻電源、離子轟擊電源、離子源電源（按客戶需要而定）

★該磁控鍍膜生產線的結構：有3室4鎖、5室4鎖、5室6鎖、7室6鎖、9室8鎖。

進片平臺-----前粗抽室（進片室，粗抽真空泵機組）-----前高真空室（精抽真空泵機組）-----前過渡室-----鍍膜室1、2、3（鍍膜室的個數按工藝而定，精抽真空泵機組、磁控濺射陰極靶、氣體系統(tǒng)）-----后過渡室-----后高真空室（精抽真空泵機組）-----后粗抽室（粗抽真空泵機組）-----出片平臺（如此循環(huán)工作）。

★該磁控鍍膜生產線的工作流程：有3室4鎖、5室6鎖、7室6鎖、9室8鎖，現以7室6鎖為例。

玻璃從清洗機出來進入進片平臺-----前粗抽室放氣數秒并開真空鎖1，玻璃進入前粗抽室到位后關真空鎖1并抽真空（如有轟擊開轟擊，有時需要充入氬氣）-----打開真空鎖2后玻璃進入前高真空室后關真空鎖2繼續(xù)抽高真空-----達到一定真空后開鎖3并進入前過渡后關真空鎖3、工件架慢速進入鍍膜室1、2、3進行磁控濺射鍍膜工作（鍍膜真空度在2×10-1Pa左右，按工藝而定）-----鍍膜結束后到玻璃走到過渡室-----開真空鎖4并進入后高真空室關真空鎖4后停留一定時間后-----開真空鎖5并進入后粗抽室后關真空鎖5、放氣數秒后開真空鎖6-----玻璃走到出片臺后關閉真空鎖6-----直接下片或走到下一個工序（如此循環(huán)工作）。

★磁控濺射工作原理：電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬（氧、氮等）原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬（氧、氮等）離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上形成膜層。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場磁力的作用下，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內，該區(qū)域內等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動，該電子的運動路徑很長，在運動過程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經過多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛，遠離靶材，最終沉積在基片上。磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運動路徑，改變電子的運動方向，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。磁控濺射的基本原理是利用 Ar一02或N2混合氣體中的等離子體在電場和交變磁場的作用下，被加速的高能粒子轟擊靶材表面，能量交換后，靶材表面的原子脫離原晶格而逸出，轉移到基體表面而成膜。