六、機械傳動部件

涂裝時，要求周圍的厚度均勻一致，這樣涂裝時需要三個轉(zhuǎn)動量才能滿足要求。也就是說，當(dāng)需要大的工件臺轉(zhuǎn)動(I)時，小的工件臺也需要轉(zhuǎn)動(II)，而且工件本身也可以旋轉(zhuǎn)(III)。就機械設(shè)計而言，一般是在大工件盤底中心有一個大的活動齒輪，周圍有幾個小的星行輪與之嚙合，若要實現(xiàn)產(chǎn)品自轉(zhuǎn)，一般用撥叉來撥動工件。

七，加熱和測溫部件。

涂裝設(shè)備一般采用不同位置的加熱器，利用熱電偶控制溫度。但由于熱電偶夾頭與工件位置不同，溫度讀數(shù)不能作為實際工件溫度。測量工件實際溫度有多種方法，可在工件上安裝高溫試紙或熱偶計。

離子蒸發(fā)和濺射光源。

多弧噴涂蒸發(fā)源一般是圓餅型，俗稱圓餅型，也有長方形多弧噴涂。靶內(nèi)裝有磁體，通過前后移動磁體，改變磁場強度，可以調(diào)節(jié)弧斑移動速度和軌跡。為降低目標(biāo)和靶座溫度，需要在靶座內(nèi)連續(xù)地注入冷卻水。同時，為保證高導(dǎo)率和高導(dǎo)率熱傳導(dǎo)性，還可在目標(biāo)與靶座之間設(shè)置錫襯墊。磁控制濺射膜通常采用矩形或圓柱形濺射陰極。

九、水冷卻系統(tǒng)

通常包括冷水塔，冰水機，水泵等。

十工控系統(tǒng)。