真空鍍膜機(jī)成膜不均的因素。

真空鍍膜機(jī)是制造三維分散零件多室連續(xù)鍍膜機(jī)的主要難點(diǎn)。目前，傳輸機(jī)構(gòu)主要是在傳統(tǒng)的、廣泛應(yīng)用于板帶表面涂層和無工件自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上開發(fā)的鏈?zhǔn)剿淼纻鬏敊C(jī)構(gòu)。

鏈?zhǔn)剿淼肋B續(xù)輸送機(jī)構(gòu)，是在傳統(tǒng)板帶表面鍍膜機(jī)中的輸送機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，對(duì)真空鍍膜設(shè)備制造企業(yè)而言，生產(chǎn)并無困難，市場上已有的立體分散件連續(xù)鍍膜機(jī)都采用了這種型號(hào)，國內(nèi)有幾家企業(yè)為此還申請(qǐng)了zhuanli。對(duì)于鏈?zhǔn)剿淼朗捷斔蜋C(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)圖，其輸送過程是，公轉(zhuǎn)盤A帶動(dòng)柔性金屬材料鋼帶B公轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上，用機(jī)械機(jī)構(gòu)固定在公轉(zhuǎn)盤上，同時(shí)用帶內(nèi)齒的固定盤F齒合自轉(zhuǎn)軸C上的齒輪E，以確保其自轉(zhuǎn)。柔性金屬材料鋼帶B在G處可以自由斷開，并做直線運(yùn)動(dòng)，從內(nèi)齒固定盤F的H開口進(jìn)入下一個(gè)真空鍍膜室的工件架。

鏈?zhǔn)剿淼纻鲃?dòng)機(jī)構(gòu)的缺點(diǎn)是，1、真空室之間的連接閥需要較大的尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛就容易互串，從而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、需要較高的設(shè)計(jì)精度、加工水平，由于是柔性結(jié)構(gòu)，容易出現(xiàn)配對(duì)不準(zhǔn)確，造成傳動(dòng)故障。真空鍍膜機(jī)往復(fù)步進(jìn)齒條推桿式傳送機(jī)的傳送過程是，固定在鍍膜室頂部或底盤上(與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè))，并能往復(fù)運(yùn)動(dòng)的齒輪G、齒條H-推桿機(jī)構(gòu)，順序?qū)崿F(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿Am從真空室M的公轉(zhuǎn)盤Jm傳送到真空室N的公轉(zhuǎn)盤Jn。使用的動(dòng)力是通過軸密封在真空室外的真空室外的馬達(dá)實(shí)現(xiàn)的。為了使自轉(zhuǎn)工件桿脫離公轉(zhuǎn)盤進(jìn)入下一個(gè)公轉(zhuǎn)盤，在公轉(zhuǎn)盤與自轉(zhuǎn)軸之間采用開式連接，同時(shí)固定在鍍膜室內(nèi)，并保持自轉(zhuǎn)內(nèi)齒輪盤相應(yīng)位置開口，實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)工件由鍍膜室M傳送到下一個(gè)公轉(zhuǎn)工件。

與鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)構(gòu)相比，該機(jī)構(gòu)為剛性輸送，在沒有齒合不正確的問題的同時(shí)，必要的過渡空間小，可以節(jié)約真空室間閥門的開關(guān)時(shí)間，進(jìn)一步減少不同真空室間的氣氛。因此，大幅度提高了鍍膜技術(shù)的穩(wěn)定性、成品率、能源消耗和成本等。

真空鍍膜機(jī)成膜不均勻。

伴隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，各種真空鍍膜機(jī)也逐漸出現(xiàn)，無論哪種真空鍍膜機(jī)，薄膜的均勻性都會(huì)受到一些因素的影響。本文從磁濺射式真空鍍膜機(jī)對(duì)成膜不均勻性進(jìn)行了分析。

涂層機(jī)抽氣不均會(huì)影響涂層的均勻性。清潔基層非常重要。真空涂層前，應(yīng)仔細(xì)清潔基層表面，以達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?；鶎颖砻嫖廴緩牧慵幚砗瓦\(yùn)輸過程中附著的各種灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等。在潮濕的環(huán)境中，基層表面容易氧化，形成氧化膜吸附氣體。對(duì)于這些污垢，可以通過去油或化學(xué)方法清洗。不要直接把干凈的基層放在外面，要用封閉的容器存放，減少污垢。涂層室也會(huì)積灰，所以要清洗涂層室，烘烤除氣，把機(jī)器放在干凈的環(huán)境中。注意擴(kuò)散泵返油。涂層的原材料很多，如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等。輔料和配方的比例不同，薄膜也不同。

上述是真空鍍膜機(jī)成膜不均勻的原因。