光電鍍膜機(jī)主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組限制和電柜(控制電柜、電子槍電樞)組成，廣泛應(yīng)用于微電子、光電成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。

光鍍?cè)O(shè)備在防止油污染、縮短工作周期等方面具有優(yōu)異的性能。

光鍍?cè)O(shè)備的工作原理是在高真空狀態(tài)下，用電子束將金屬或非金屬材料加熱到合適的溫度，材料加熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。其平均自由程大于蒸發(fā)源與蒸發(fā)基之間的距離，蒸發(fā)后的蒸汽分子直接照射到各個(gè)地方，接觸基片后沉積在基片表面形成臘層。

光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)主要包括更換電子槍的安裝和維護(hù)、光路的維護(hù)、設(shè)備的清潔和維護(hù)。

1.電子槍的安裝和維護(hù)。

電子槍支蒸發(fā)源控制系統(tǒng)由電子槍支燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動(dòng)電源、蒸發(fā)源等組成。

電子槍控制電氣中心含有高壓，工作前必須保證柜門各聯(lián)鎖裝置正常工作，非專家不得打開電氣中心門，電子槍工作時(shí)不得打開電氣中心門，整個(gè)電氣中心必須接地良好，與機(jī)臺(tái)接地。

安裝在真空室底板上的電子槍蒸發(fā)源，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發(fā)源必須用不銹鋼螺釘固定，周圍200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁物，否則會(huì)影響電子槍的光斑成表，造成電子性能差。電子槍檔板應(yīng)盡量安裝在蒸發(fā)源坩堝中心30mm處，以免影響電子槍的發(fā)射。

電子槍的蒸發(fā)源是精密的機(jī)械加工體，工作時(shí)必須保證良好的冷卻水。溫度過(guò)高會(huì)影響電子束的成形和各密封圈的性能。

㈠電子槍頭。

電子槍頭的安裝直接影響工作的正常進(jìn)行，90%的故障與電子槍頭有關(guān)。

電子槍頭使用一段時(shí)間后，會(huì)因組件污染而影響電子束的成型和功率，需要拆卸清洗。

㈡坩堝的維修。

拆除坩堝前，請(qǐng)關(guān)閉水路，用壓縮空氣將電子槍冷卻管內(nèi)的水吹干。

蒸發(fā)源裝卸順序:

1.拆下兩個(gè)冷卻水連接管。2.擰出電子槍頭，連接高壓線和兩個(gè)螺釘。3.拆下坩堝傳動(dòng)連接座和聯(lián)軸器。4.擰下蒸發(fā)源的四個(gè)固定螺釘。5.將蒸發(fā)源搬到穩(wěn)定平整的工作臺(tái)。6.拆下坩堝蓋板的四個(gè)螺釘，取下蓋板，打磨干凈。7.檢查蓋板上的兩個(gè)密封圈是否需要更換。8.將蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)四個(gè)螺釘10。提起蒸發(fā)源，取下坩堝11。將坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個(gè)螺釘，清理里面的污垢，檢查是否需要接近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個(gè)螺釘13。擰下坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個(gè)螺釘14。撥出坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)軸，檢查轉(zhuǎn)動(dòng)軸的油封是否需要更換。安裝應(yīng)按上述倒置順序進(jìn)行。

㈢維修導(dǎo)磁板和掃描圈。

導(dǎo)磁板和永磁鐵不需要經(jīng)常拆卸和維護(hù)。如果需要拆卸，請(qǐng)注意永磁鐵的極向和導(dǎo)磁板的方向。由于線圈安裝空間密集，請(qǐng)不要用硬尖撬動(dòng)，否則可能會(huì)損壞。

光路的維修與保養(yǎng)。

光路調(diào)節(jié)的前提是確保DC穩(wěn)定電源、調(diào)制光源、光纖、光柵單色儀、光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚儀和各種專用電纜的完好正確接入。特別是光電轉(zhuǎn)換放大器和光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的接地點(diǎn)必須分別歸類為主機(jī)接地點(diǎn)。