介紹了真空鍍膜機的工作原理和結構。真空鍍膜機是真空制造中應用最廣泛的設備。其組成及部件：機械泵、增壓泵、油分散泵、凝結水泵、真空測量系統(tǒng)

真空鍍膜機的原理真空鍍膜機主要是指一種需要在高真空下進行的鍍膜，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等多種。其主要思想分為蒸發(fā)和濺射。

真空鍍膜機部件

1、 真空的主體是真空室。根據加工品的不同要求，真腔的大小也不同。目前最常用的是直徑1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。箱體采用不銹鋼材料，要求不生銹、堅固。真空室的每個部分都有一個連接閥，用于連接泵。

2、 排氣系統(tǒng)由“分散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+聚合物”組成。排氣流程如下：機械泵首先將真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空狀態(tài)，這是分散泵隨后抽真空的供給條件。分散泵抽真空室時，機械泵與油分散泵串聯，這樣抽真空。

排氣系統(tǒng)是涂布機真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）和油分散泵組成。

機械泵：又稱前置泵，機械泵是應用最為廣泛的低真空泵，它是利用油的附著密封作用，依靠機械的方法不斷改變泵內吸入腔的容積，使泵內氣體的容積不斷膨脹，進而獲得真空。

機械泵有很多種，常用的有滑閥式（這主要用于大型設備）、活塞往復式、固定板式和旋轉板式（這是目前應用最廣泛的，本文主要介紹）四種類型。

機械泵常用于去除干燥空氣，但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蝕性氣體。機械泵通常用于去除持續(xù)性氣體，但對水蒸氣的去除效果不好，不能去除水蒸氣。旋葉泵最有效的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子內部，但與定子不同。主軸像兩個內接圓。轉子槽內裝有兩片彈片，兩片彈片中心裝有拉簧，保證彈片與定子內壁緊密貼合。

真空鍍膜機的原理及組成分析真空鍍膜機是真空條件下應用最廣泛的真空設備。一般由真空室、真空單元和電氣控制柜組成。排氣系統(tǒng)由“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+保冷器”組成。我們公司是一家專業(yè)從事研發(fā)的公司；研發(fā)生產真空鍍膜設備，擁有經驗豐富的技術團隊和高素質的售后服務團隊，解決設備使用中遇到的任何問題。其次，詳細介紹了真空鍍膜機的組成和工作原理。

1、 真空鍍膜機真空腔的真空體根據加工產品的要求不同，真實腔的尺寸也不同。目前應用最廣泛的是直徑1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。型腔采用不銹鋼，要求不生銹，堅固。真空腔的每個部分都有一個連接閥，用于連接泵。

2、 輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)是真空鍍膜機真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）和油擴散泵組成。排氣系統(tǒng)由“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+聚晶”組成。排氣過程如下：機械泵首先將真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空狀態(tài)，為擴散泵的后續(xù)抽真空提供前提。然后，擴散泵抽真空室時，機械泵與油擴散泵串聯，從而完成抽真空動作。

機械泵：又稱前置泵，是機械泵中應用最廣泛的低真空泵。它用機油來保養(yǎng)