由于真空鍍膜機(jī)必須能夠保持工件的自轉(zhuǎn)，因此工件在不同真空室之間的轉(zhuǎn)移技術(shù)是制造具有三維分散零件的多室連續(xù)鍍膜機(jī)的主要難點(diǎn)。目前，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)主要是在常規(guī)、廣泛用于板帶材表面涂裝、在無工件旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的鏈?zhǔn)剿淼纻鲃?dòng)機(jī)構(gòu)。

鏈?zhǔn)剿淼朗竭B續(xù)輸送機(jī)構(gòu)是在傳統(tǒng)板帶表面涂布機(jī)中輸送機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的對(duì)于真空鍍膜設(shè)備制造商來說，生產(chǎn)沒有難度市場(chǎng)上現(xiàn)有的三維分散件連續(xù)涂布機(jī)均采用該機(jī)型，國內(nèi)已有多家企業(yè)申請(qǐng)了zhuanli。是鏈?zhǔn)剿淼纻鲃?dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)圖其傳動(dòng)過程是轉(zhuǎn)盤A帶動(dòng)柔性金屬鋼帶B轉(zhuǎn)動(dòng)，自轉(zhuǎn)軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上，并通過機(jī)械機(jī)構(gòu)固定在轉(zhuǎn)盤上同時(shí)，內(nèi)齒固定盤F與自轉(zhuǎn)軸C上的齒輪E嚙合，保證其轉(zhuǎn)動(dòng)。柔性金屬鋼帶B在G處可自由斷開，從內(nèi)齒固定盤F的H口直線運(yùn)動(dòng)到下一個(gè)真空鍍膜室的工件架上。

鏈?zhǔn)剿淼纻鲃?dòng)機(jī)構(gòu)的缺點(diǎn)是1、真空室之間的連接閥需要尺寸較大，這樣不同真空室之間的氣氛容易相互交叉，從而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、要求高設(shè)計(jì)精度、由于結(jié)構(gòu)靈活，加工水平容易匹配不準(zhǔn)，導(dǎo)致傳動(dòng)失靈。真空鍍膜機(jī)往復(fù)步進(jìn)齒條推桿輸送機(jī)的傳動(dòng)過程是固定在鍍膜室的頂部或底盤上（與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè)）和能夠往復(fù)運(yùn)動(dòng)的齒輪g、齒條H－推桿機(jī)構(gòu)依次實(shí)現(xiàn)將旋轉(zhuǎn)的工件棒Am從真空室M的轉(zhuǎn)臺(tái)Jm傳送到真空室n的轉(zhuǎn)臺(tái)Jn。齒輪、機(jī)架使用的動(dòng)力是由電機(jī)實(shí)現(xiàn)的，電機(jī)的軸密封在真空室外。為了使自轉(zhuǎn)的工件棒離開轉(zhuǎn)盤進(jìn)入下一個(gè)轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤和自轉(zhuǎn)軸之間采用開放式連接，同時(shí)打開固定在鍍膜室內(nèi)并保持旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒輪板的相應(yīng)位置，使自轉(zhuǎn)的工件棒從鍍膜室M轉(zhuǎn)移到下一個(gè)鍍膜室n。與鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)構(gòu)相比，該機(jī)構(gòu)為剛性輸送，不存在嚙合不準(zhǔn)確的問題同時(shí)，由于所需的過渡空間較小，可以節(jié)省真空室之間閥門的開啟和關(guān)閉時(shí)間、進(jìn)一步減少不同真空室之間的氣氛串?dāng)_。從而大大提高了涂覆過程的穩(wěn)定性和可靠性、產(chǎn)量，降低能耗和成本等。

真空鍍膜機(jī)成膜不均勻隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，各種真空鍍膜機(jī)逐漸出現(xiàn)無論哪種真空鍍膜機(jī)，薄膜的均勻性都會(huì)受到一些因素的影響?，F(xiàn)在，我們使用磁控濺射真空鍍膜機(jī)來分析不均勻成膜的因素。涂布機(jī)泵送不均勻會(huì)影響涂布均勻性。基片干凈很重要。真空鍍膜前，應(yīng)仔細(xì)清洗基底表面，去除工件上的油污、去污和脫水的目的?；灞砻嫖廴緛碓从诩庸ず瓦\(yùn)輸過程中附著在零件上的各種灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等，在潮濕的環(huán)境中，基板表面容易氧化，形成氧化膜吸收氣體。對(duì)于這些污染物，可以通過脫脂或化學(xué)方法清洗。干凈的基底不應(yīng)直接放在室外，而應(yīng)儲(chǔ)存在封閉的容器中以減少污染?；覊m也會(huì)堆積在涂裝室，所以要對(duì)涂裝室進(jìn)行清潔，烘烤脫氣，將機(jī)器放在干凈的環(huán)境中。注意擴(kuò)散泵返油。涂料的原料有很多，比如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等，輔料、配方比例不一樣，貼膜也不一樣。這些都是真空鍍膜機(jī)成膜不均勻的因素。